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耐高壓接近傳感器原理

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耐高壓接近傳感器原理

   耐高壓接近傳感器是應(yīng)用適合廣泛的傳感器之一。傳統(tǒng)的壓力傳感器主要是基于機械結(jié)構(gòu),并將彈性體的變形轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的壓電效應(yīng)。隨著半導體技術(shù)和微電子技術(shù)的發(fā)展,壓力傳感器的性能得到了很大的提高,不僅體積小、質(zhì)量輕、功耗小、精度高、穩(wěn)定性好、可靠性高,大大拓展了應(yīng)用市場。高溫壓力傳感器主要用于解決高溫環(huán)境下氣體和液體壓力的測量,在鍋爐和管道中得到廣泛應(yīng)用。信號激勵與信號處理由計算機完成。

  現(xiàn)在,耐高壓接近傳感器與傳統(tǒng)的壓阻式壓力傳感器相比,半導體電容式壓力傳感器具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好,功耗低,而且只對壓力敏感,應(yīng)力不敏感。因此,電容式壓力傳感器在許多領(lǐng)域都得到了廣泛的應(yīng)用。介紹了高溫壓力傳感器的生產(chǎn)工藝。

  耐高壓接近傳感器的傳感元件是一種半導體薄膜,它主要由單晶硅和多晶硅組成。典型的電容傳感器結(jié)構(gòu)由上下電極、絕緣體和襯底組成。當薄膜在壓力下,它會變形,從而導致上下電極之間的距離變化,從而使電容變化。但電容和上下電極之間的距離的變化是非線性的。因此,使用補償電路補償。